厂区钢结构封顶比魏工预估的提前了两天。
最后一根主梁落位之后，魏工站在吊车下面，仰头看着螺栓一颗一颗打进去，然后转身跟许锋说：
“许大队长，厂区主体结构今天算正式封顶了，接下来外墙板安装、内部管线、设备基础，三路同步推进。”
许锋看了一眼钢结构骨架的整体轮廓：“洁净车间那边怎样了。”
“墙板和天花板昨天装完了，新风系统今天下午开始调试。古工和苏工已经到了，在三楼。”
许锋点了点头，转身往研究中心走。
这是他最关心的部分，以后的发展就是从这里开始。
洁净车间的门开着，古工站在车间正中央，正用手背贴着墙板表面，感受防静电涂层的均匀度。
苏工蹲在东南角的光学镜组装配工位旁边，拿一把水平尺在量工作台面的平整度。
旁边摊着一本手写检查清单，已经打了十几个对勾。
听到脚步声，古工转过头。
他没有寒暄，直接开口：
“许队长，洁净车间的基础条件达到了要求。环氧地面平整度在正负零点五毫米以内，墙板防静电涂层表面电阻率达标，新风系统过滤等级H14，正压控制在五帕以上。百级洁净度没有问题。”
他顿了一下，把手从墙板上收回来：“条件是有了，现在缺的是设备。”
许锋站在车间中央，扫了一眼四周。
地面平滑如镜，墙板灰白色，空荡荡的工位等待着光学镜组、精密运动平台和曝光系统的进驻。
“光刻机的完整图纸，你们全部看过了吗？”
苏工站起来，把水平尺收进工具箱。
他没有直接回答，而是走到许锋面前，从随身的文件夹里抽出一张折叠的图纸展开。
那是一张光刻机整机布局图，每一个子系统都用不同颜色的线条标注，密密麻麻的尺寸参数填满了图纸的空白处。
“看完了，这份图纸的光学系统设计思路，和我们目前接触过的所有光刻机方案都不一样。它没有用传统的光学缩小投影方式，而是采用了一种基于自适应光学校正的直接成像方案。光学镜组的曲面方程、镜片之间的间距公差、激光光源的相干性补偿算法——这三个核心模块的设计水平，超出了目前公开文献里任何一个方案至少一代以上。”
他把图纸翻到第二页，指着一处光学系统布局图：
“这个非球面镜组的曲面方程，我看第一遍的时候以为数据标错了。算了三遍才确认，没错。