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第1480章 我们的光刻机(3/3)
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到了八十年代中期,就更了不得了,自动接近式光刻机研制成功了,分步投影式光刻机生产出来了,光刻光源甚至已经达到了193纳米。
这一技术,仅比国际上最领先的,落后了四五年的时间,更是遥遥领先着阿斯麦。可以说,当时在光刻机技术上,咱们谁也不怵!
然而,很可惜,光刻机的研发,也就到此为止了。
所有人都以为我们的、光刻机的辉煌征途刚刚开始,但谁也没想到,在那之后就开始陷入长达二十多年的落寞。
断了光刻机的自主研发之路,原因只有一个字:“穷”!
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